无尘室、洁净室的定义及等级划分

洁净室（无尘室）标准及等级划分

（一）洁净室之定义

洁净室（Clean Room），亦称为无尘室或清净室。

「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。    亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。  



（二）洁净室之等级

世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。  

209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、M1。  5、M2。5、M3…。。依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0。5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1。    5、2。5、3。5…。表示。

美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英?瘴ノ唬毡驹蚴遣捎霉疲匆悦苛⒎焦呶ノ唬?。1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。    



（三）洁净室控管之项目

1。 能除去空气中飘游之微尘粒子。

2。 能防止微尘粒子之产生。

3。 温度和湿度之控制。

4。   压力之调节。

5。 有害气体之排除。

6。 结构物与隔间之气密性。  

7。 静电之防制。

8。 电磁干扰预防。

9。 安全因素之考虑。  

10。 节能之考量。

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